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应用概述
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半导体芯片这类易碎产品，在相关过程需要进行"轻触"控制，比如穿孔、熔合、粘贴或焊接过程中必须要控制在芯片上施加的力。施力不当可能会损坏芯片或者处理不到位。所以，在装备上 集成一个力传感器来进行闭环控制是非常必要的。
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使用产品
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微型圆柱型力传感器LCM100，配相应信号处理模块 (如IPM650显表、 IDA10双输出变送器、 IAA300差分输出放大器)。
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使用说明
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● 在驱动和取放端之间安装LCM100力传感器。
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● 在驱动加载到芯片的过程中，LCM100能实时精确监测力值大小。
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● 输出力值可以显示在手持式显示仪表IHH500或者板面式显示仪表IPM650上。
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● 或者，使用IDA100或IAA300还可以输出模拟量连接到PLC的采集端。
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● IAA300变送器为差分式输出，低噪声能使其更精确的反馈力值。
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LCM100
微型轴向拉压力传感器
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IPM650
面板式显示仪表
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IDA100
可配置数字放大器
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IAA300
应变式放大器
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